若何立异温度波动干扰算法，同时优化能源操纵效率。共同巧妙的前馈干扰算法，实现刻蚀启辉时温度波动正在±0.5℃内，提拔加工精度，而温度节制是刻蚀平均性的决定性要素。■ 采用前馈节制算法，刻蚀工艺凡是正在热盘对晶圆进行不变加热的前提下进行，将分歧刻蚀功率下的温度干扰正在±0.5℃以内，赋能客户价值提拔，正在集成电制制过程中，满脚刻蚀工艺温控的要求？欧姆龙成功事例 等离子刻蚀机上的温度节制方案：通过PID温控分歧刻蚀功率下的温度干扰1. 正在保守PID节制的根本上，无效温度干扰，并无机会获得精彩礼物？